近年來中國電子工業(yè)持續(xù)高速增長,帶動電子元器件產(chǎn)業(yè)的強勁發(fā)展。特別是半導(dǎo)體行業(yè)顯得尤為突出。然而全新的生產(chǎn)工藝及生產(chǎn)過程中對環(huán)境溫、濕度、潔凈度的要求較高,因此工業(yè)加濕器成為了潔凈室行業(yè)一種有效地加濕方式被廣泛應(yīng)用。
半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為:T=22±2℃,RH=45±5%;而對于這個溫濕度要求,傳統(tǒng)上經(jīng)常采用空調(diào)機組加濕+干蒸汽加濕的方式進行處理。但是這種方式會存在一個加濕效果不理想和能耗巨大浪費的缺陷,所以車間配備干霧加濕器輔助加濕或者是空調(diào)機組內(nèi)采用高壓微霧加濕系統(tǒng)是現(xiàn)在潔凈車間加濕的新方式。
車間干霧加濕案例圖
其中車間干霧加濕方式表現(xiàn)為:直接在車間安裝加濕噴壺和控制箱,加濕噴壺必須安裝過道上,避免直接對車間設(shè)備或墻壁噴霧。干霧加濕的霧粒為5~7.5μm,加濕速度快,擴散均勻,其干霧為氣霧性質(zhì),長時間使用對車間設(shè)備及產(chǎn)品無影響。另外防堵塞型的優(yōu)質(zhì)不銹鋼噴頭,免維護、安全、可靠,使用壽命長久,降低維修保養(yǎng)成本。
其中空調(diào)機組加濕方式表現(xiàn)為:中空調(diào)加濕段中安裝高壓微霧加濕系統(tǒng)+濕膜擋水板。高壓微霧加濕系統(tǒng)工作原理:是利用高壓柱塞泵將水壓提高到一定壓力,然后將加壓后的水經(jīng)耐高壓輸送管線由專業(yè)噴嘴將其霧化,產(chǎn)生微霧顆粒,使其能夠迅速從空氣中吸收熱量完成氣化并擴散,來快速加濕除靜電。加濕器噴嘴的核心部分采用鈦合金材料制造和自帶限壓啟動閥,外殼采用銅質(zhì)或不銹鋼材質(zhì)制造,具有噴霧細、不磨損、壓力損失小、防堵塞、不滴水等特點。高壓噴霧加濕器是一種適合于企業(yè)工業(yè)空調(diào)的節(jié)能加濕方法,其經(jīng)濟低耗、安全運行、見效快、加濕效率高,相對其它傳統(tǒng)的電極、電熱式加濕器,更節(jié)省用水量及用電量,而且相應(yīng)的運行費用也大大減少。
空調(diào)機組高壓微霧加濕系統(tǒng)+濕膜擋水板案例圖
因此,對于一個半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)來說,采用工業(yè)加濕器不僅能達到增濕、除靜電、降塵等多種需求,還能讓您的企業(yè)取得顯著的經(jīng)濟與環(huán)保效益。
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